Patterning of material layers in submicron region / U.S. Tandon, W.S. Khokle.

Saved in:
Bibliographic Details
Main Author: Tandon, U. S., 1952-
Other Authors: Khokle, W. S.
Format: Book
Language:English
Published: New York : J. Wiley, 1993.
Subjects:

MARC

LEADER 00000pam a2200000 a 4500
001 b2033043
003 CoU
008 921028s1993 nyua b 001 0 eng
005 20240722202314.7
010 |a 92036072 
020 |a 0470220635 (J. Wiley) 
020 |a 8122405614 (Wiley Eastern) 
035 |a (OCoLC)ocm27036323 
040 |a DLC  |c DLC  |d UKM  |d COD 
049 |a CODI 
050 0 0 |a TK7872.M3  |b P38 1993 
100 1 |a Tandon, U. S.,  |d 1952-  |0 http://id.loc.gov/authorities/names/n92107015. 
245 1 0 |a Patterning of material layers in submicron region /  |c U.S. Tandon, W.S. Khokle. 
260 |a New York :  |b J. Wiley,  |c 1993. 
300 |a xii, 183 pages :  |b illustrations (some color) ;  |c 25 cm. 
336 |a text  |b txt  |2 rdacontent. 
337 |a unmediated  |b n  |2 rdamedia. 
338 |a volume  |b nc  |2 rdacarrier. 
590 |a ENGINE c.1 kw. 
504 |a Includes bibliographical references and index. 
583 1 |a committed to retain  |c 20240101  |d 2049101  |5 CoU  |f Alliance Shared Trust  |u https://www.coalliance.org/shared-print-archiving-policies  
650 0 |a Integrated circuits  |x Masks.  |0 http://id.loc.gov/authorities/subjects/sh85067122. 
650 0 |a Ion beam lithography.  |0 http://id.loc.gov/authorities/subjects/sh85067791. 
650 0 |a Lithography, Electron beam.  |0 http://id.loc.gov/authorities/subjects/sh85077608. 
650 0 |a X-ray lithography.  |0 http://id.loc.gov/authorities/subjects/sh85148736. 
700 1 |a Khokle, W. S.  |0 http://id.loc.gov/authorities/names/n89223438. 
907 |a .b20330431  |b 02-23-21  |c 02-27-95 
998 |a eng  |b 02-27-95  |c -  |d m   |e -  |f eng  |g nyu  |h 0  |i 1 
907 |a .b20330431  |b eng   |c - 
907 |a .b20330431  |b 10-25-18  |c 02-27-95 
944 |a MARS - RDA ENRICHED 
907 |a .b20330431  |b 12-17-08  |c 02-27-95 
907 |a .b20330431  |b 04-03-96  |c 02-27-95 
999 f f |i 50774e2a-1add-5b93-ad2b-e65fa258778a  |s 4d922ca4-7221-5eb3-8693-ed77e8cbd71c 
952 f f |p Can circulate  |a University of Colorado Boulder  |b Boulder Campus  |c Offsite  |d PASCAL Offsite  |e TK7872.M3 P38 1993  |h Library of Congress classification  |i book  |m P204342813012  |n 1